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?微波等離子清洗機(jī)是一款表面處理設(shè)備,能夠處理各類污染物,主要應(yīng)用在集成電路、半導(dǎo)體等行業(yè);微波等離子清洗工藝是一種干式精密清洗技術(shù),能夠?qū)ξ⒖?、狹縫等細(xì)小的空間進(jìn)行處理,解決這類部位的表面處理難題。一、微波等離子清洗機(jī)原理
微波是因為電源頻率,分別是直流、低頻40KHz、射頻13.56MHz及本文介紹的微波2.45GHz。
利用微波源振蕩產(chǎn)生的高頻交變電磁場將氧、氬、氫等工藝氣體電離,生成等離子體,活性等離子體對被清洗物進(jìn)行表面處理,達(dá)到表面清潔活化的目的。